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681
CF4/Gas Chemistry에 의해 식각된 Ru 박막의 표면 반응
CF4/Gas Chemistry에 의해 식각된 Ru 박막의 표면 반응
임규태 ( Kyu Tae Lim ), | 한국전기전자재료학회 | 2002 ,
682
Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성
Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성
장윤성 ( Yun Seong Chang ), | 한국전기전자재료학회 | 2002 ,
683
SLS 다결정 실리콘 TFT 소자의 불량분석에 관한 연구
SLS 다결정 실리콘 TFT 소자의 불량분석에 관한 연구
오재영 ( Jae Young Oh ), | 한국전기전자재료학회 | 2002 ,
684
반도체 : 금속 CMP 공정시 경질 다공성 패드의 적용
반도체 : 금속 CMP 공정시 경질 다공성 패드의 적용
김상용 ( Sang Yong Kim ), | 한국전기전자재료학회 | 2003 ,
685
Ar/CF4 유도결합 플라즈마를 이용한 (Ba0.6Sr0.4)TiO3 박막의 식각 특성
Ar/CF4 유도결합 플라즈마를 이용한 (Ba0.6Sr0.4)TiO3 박막의 식각 특성
강필승 ( Pil Seung Kang ), | 한국전기전자재료학회 | 2002 ,
686
Development of Transgenic Lettuce Plants with Rice Ferritin Gene
Development of Transgenic Lettuce Plants with Rice Ferritin Gene
Zu An Lee, | 한국원예학회 | 2005 ,
687
수직형 Feed - through 갖는 RF - MEMS 소자의 웨이퍼 레벨 패키징
수직형 Feed - through 갖는 RF - MEMS 소자의 웨이퍼 레벨 패키징
박윤권(Yun Kwon Park), | 한국전기전자재료학회 | 2002 ,
688
실리카 슬러리의 희석과 연마제의 첨가가 CMP 특성에 미치는 영향
실리카 슬러리의 희석과 연마제의 첨가가 CMP 특성에 미치는 영향
박창준(Chang Jun Park), | 한국전기전자재료학회 | 2002 ,
689
다양한 기울기를 갖는 TEOS 필드 산화막의 경사식각
다양한 기울기를 갖는 TEOS 필드 산화막의 경사식각
김상기(Sang Gi Kim), | 한국전기전자재료학회 | 2002 ,
690
반도체 : 유도결합 CF4/Ar 플라즈마에 의한 Bi4-xLaxTi3O12 박막의 식각 표면 반응
반도체 : 유도결합 CF4/Ar 플라즈마에 의한 Bi4-xLaxTi3O12 박막의 식각 표면 반응
김동표 ( Dong Pyo Kim ), | 한국전기전자재료학회 | 2003 ,
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