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Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성
Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성 / 장윤성 ( Yun Seong Chang ) , 김동표 ( Dong Pyo Kim ) , 김창일 ( Chang Il Kim ) , 장의구 ( Eui Goo Chang ) , 이수재 ( Su Jae Lee ) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2002.
- 형태사항
- pp. 1011-1015
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234706
MARC
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