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반도체 : 유도결합 플라즈마에 의한 (Ba,Sr)TiO3 박막의 식각 손상에 관한 연구
반도체 : 유도결합 플라즈마에 의한 (Ba,Sr)TiO3 박막의 식각 손상에 관한 연구
최성기(Sung Ki Choi), | 한국전기전자재료학회 | 2001 ,
12
고밀도 플라즈마에 의한 PZT 박막의 식각특성 연구
고밀도 플라즈마에 의한 PZT 박막의 식각특성 연구
안태현(Tae Hyun An), | 한국전기전자재료학회 | 2000 ,
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Ar/CHF3 플라즈마를 이용한 SBT 박막에 대한 식각 메카니즘 연구
Ar/CHF3 플라즈마를 이용한 SBT 박막에 대한 식각 메카니즘 연구
서정우(Jung Woo Seo), | 한국전기전자재료학회 | 2000 ,
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반도체 ; Ar/CF4 유도결합 플라즈마를 이용한 BET 박막의 식각 메카니즘
반도체 ; Ar/CF4 유도결합 플라즈마를 이용한 BET 박막의 식각 메카니즘
임규태 ( Kyu Tae Lim ), | 한국전기전자재료학회 | 2003 ,
15
반도체 ; 유도결합 플라즈마를 이용한 PST 박막의 식각 특성
반도체 ; 유도결합 플라즈마를 이용한 PST 박막의 식각 특성
김관하 ( Gwan Ha Kim ), | 한국전기전자재료학회 | 2003 ,
16
반도체 ; Zn4GeSe6:CO2+ 단결정의 광학적 특성
반도체 ; Zn4GeSe6:CO2+ 단결정의 광학적 특성
김형곤 ( Hyung Gon Kim ), | 한국전기전자재료학회 | 2003 ,
17
반도체 ; FRAM 응용을 위한 건조온도에 따른 BLT 박막의 강유전 특성
반도체 ; FRAM 응용을 위한 건조온도에 따른 BLT 박막의 강유전 특성
김경태 ( Kyoung Tae Kim ), | 한국전기전자재료학회 | 2003 ,
18
CF4/Gas Chemistry에 의해 식각된 Ru 박막의 표면 반응
CF4/Gas Chemistry에 의해 식각된 Ru 박막의 표면 반응
임규태 ( Kyu Tae Lim ), | 한국전기전자재료학회 | 2002 ,
19
Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성
Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성
장윤성 ( Yun Seong Chang ), | 한국전기전자재료학회 | 2002 ,
20
전자세라믹 : 부분등가회로모델을 이용한 매립형 인덕터의 특성 연구
전자세라믹 : 부분등가회로모델을 이용한 매립형 인덕터의 특성 연구
신동욱 ( Dong Wook Shin ), | 한국전기전자재료학회 | 2003 ,
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