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고밀도 플라즈마에 의한 PZT 박막의 식각특성 연구
고밀도 플라즈마에 의한 PZT 박막의 식각특성 연구
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 안태현(Tae Hyun An)
- 서명/저자
- 고밀도 플라즈마에 의한 PZT 박막의 식각특성 연구 / 안태현(Tae Hyun An) , 서용진(Yong Jin Seo) , 김창일(Chang Il Kim) , 장의구(Eui Goo Chang) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2000.
- 형태사항
- pp. 188-192
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234818
MARC
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■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제13권 제3호 (2000년 3월)▼d2000, 03
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■SIS ▼aS014421▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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