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Ar/CHF3 플라즈마를 이용한 SBT 박막에 대한 식각 메카니즘 연구
Ar/CHF3 플라즈마를 이용한 SBT 박막에 대한 식각 메카니즘 연구
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- Ar/CHF3 플라즈마를 이용한 SBT 박막에 대한 식각 메카니즘 연구 / 서정우(Jung Woo Seo) , 이원재(Won Jae Lee) , 유병곤(Byong Gon Yu) , 장의구(Eui Goo Chang) , 김창일(Chang Il Kim) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2000.
- 형태사항
- pp. 183-187
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234817
MARC
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