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2 Results:UU:제15권제4호2002년4월 PP:한국전기전자재료학회 AA:김경태(KYOUNG TAE KIM) 0.234 sec.
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CI2/CF4 플라즈마에 Ar , O2 첨가에 따른 PZT 박막의 식각 손상 개선 효과
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김경태(Kyoung Tae Kim), | 한국전기전자재료학회 | 2002 ,
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강유전체 YMnO3 박막 식각에 대한 CF4 첨가효과
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박재화(Jae Hwa Park), | 한국전기전자재료학회 | 2002 ,
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