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강유전체 YMnO3 박막 식각에 대한 CF4 첨가효과
강유전체 YMnO3 박막 식각에 대한 CF4 첨가효과
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 강유전체 YMnO3 박막 식각에 대한 CF4 첨가효과 / 박재화(Jae Hwa Park) , 김경태(Kyoung Tae Kim) , 김창일(Chang Il Kim) , 장의구(Eui Goo Chang) , 이철인(Cheol In Lee) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2002.
- 형태사항
- pp. 314-318
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234422
MARC
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