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4 Results:AA:이주현 PP:한국재료학회 0.46 sec.
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Pulsed ECR PECVD를 이용한 SiO_x박막의 성장 및 특성분석
Pulsed ECR PECVD를 이용한 SiO_x박막의 성장 및 특성분석
이주현, | 한국재료학회 | 2000 ,
2
Nd:YAG laser를 이용한 자성금속 막의 패턴 식각
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채상훈, | 한국재료학회 | 2000 ,
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원료물질에 따른 실리콘 질화막의 원자충 증착 특성 비교
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이원준, | 한국재료학회 | 2004 ,
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SiH2Cl2와O3을 이용한 원자층 증착법에 의해 제조된 실리콘 산화막의 특성
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이원준, | 한국재료학회 | 2004 ,
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