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Nd:YAG laser를 이용한 자성금속 막의 패턴 식각
Nd:YAG laser를 이용한 자성금속 막의 패턴 식각
상세정보
MARC
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■1001 ▼a채상훈
■24510▼aNd:YAG laser를 이용한 자성금속 막의 패턴 식각 ▼d채상훈▼e서영준, 송재성, 민복기, 안승준, 이주현 공저
■260 ▼a서울▼b한국재료학회▼c2000.
■300 ▼app. 171-174
■500 ▼a권말 참고문헌 수록
■7001 ▼a서영준, 송재성, 민복기, 안승준, 이주현
■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 10, No. 2, (2000 February)▼d2000, 02
■856 ▼uhttp://www.mrs-k.or.kr
■SIS ▼aS014182▼b60055267▼h8▼s2▼fP
