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원료물질에 따른 실리콘 질화막의 원자충 증착 특성 비교
원료물질에 따른 실리콘 질화막의 원자충 증착 특성 비교
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 이원준
- 서명/저자
- 원료물질에 따른 실리콘 질화막의 원자충 증착 특성 비교 / 이원준 , 이주현 이연승 나사균 박종욱 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 141-145
- 주기사항
- 권말 색인 및 참고문헌 수록
- 기타저자
- 이주현 이연승 나사균 박종욱
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60217979
MARC
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