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공기 중에 노출된 MOCVD TiN 기판이 MOCVD Cu 증착에 미치는 효과
공기 중에 노출된 MOCVD TiN 기판이 MOCVD Cu 증착에 미치는 효과
최정환, | 한국재료학회 | 2000 ,
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(hfac)Cu(1,5-DMCOD) 전구체를 이용한 MOCVD Cu 증착 특성에 미치는 환원기체와 첨가제의 영향에 관한 연구
(hfac)Cu(1,5-DMCOD) 전구체를 이용한 MOCVD Cu 증착 특성에 미치는 환원기체와 첨가제의 영향에 관한 연구
변인재, | 한국재료학회 | 2001 ,
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