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3 Results:AA:김남훈 PP:한국전기전자재료학회 AA:김상용 ( SANG YONG KIM ) 0.147 sec.
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반도체 : 금속 CMP 공정시 경질 다공성 패드의 적용
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김상용 ( Sang Yong Kim ), | 한국전기전자재료학회 | 2003 ,
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구리 CMP 적용을 위한 산성 콜로이드 실리카를 포함한 준무연마제 슬러리 연구
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김남훈 ( Kim Nam Hun ), | 한국전기전자재료학회 | 2004 ,
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안티몬 이온주입시 Sb2O3 빔튜닝 방법 및 모니터링 연구
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김상용 ( Kim Sang Yong ), | 한국전기전자재료학회 | 2004 ,
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