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안티몬 이온주입시 Sb2O3 빔튜닝 방법 및 모니터링 연구
안티몬 이온주입시 Sb2O3 빔튜닝 방법 및 모니터링 연구
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 안티몬 이온주입시 Sb2O3 빔튜닝 방법 및 모니터링 연구 / 김상용 ( Kim Sang Yong ) , 최민호 ( Choe Min Ho ) , 김남훈 ( Kim Nam Hun ) , 정헌상 ( Jeong Heon Sang ) , 장의구 ( Jang Ui Gu ) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 476-480
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233774
MARC
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■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제17권 제5호 (2004년 5월)▼d2004, 05
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