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안티몬 이온주입시 Sb2O3 빔튜닝 방법 및 모니터링 연구
안티몬 이온주입시 Sb2O3 빔튜닝 방법 및 모니터링 연구
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 안티몬 이온주입시 Sb2O3 빔튜닝 방법 및 모니터링 연구 / 김상용 ( Kim Sang Yong ) , 최민호 ( Choe Min Ho ) , 김남훈 ( Kim Nam Hun ) , 정헌상 ( Jeong Heon Sang ) , 장의구 ( Jang Ui Gu ) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 476-480
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233774
MARC
008191004s2004 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a김상용 ( Kim Sang Yong )
■24510▼a안티몬 이온주입시 Sb2O3 빔튜닝 방법 및 모니터링 연구▼d김상용 ( Kim Sang Yong ) ▼e최민호 ( Choe Min Ho ) , 김남훈 ( Kim Nam Hun ) , 정헌상 ( Jeong Heon Sang ) , 장의구 ( Jang Ui Gu ) 공저
■260 ▼a서울▼b한국전기전자재료학회▼c2004.
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■500 ▼a참고문헌 수록
■7001 ▼a최민호 ( Choe Min Ho ) , 김남훈 ( Kim Nam Hun ) , 정헌상 ( Jeong Heon Sang ) , 장의구 ( Jang Ui Gu )
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제17권 제5호 (2004년 5월)▼d2004, 05
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014472▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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