신경주학교 도서관

6 Results:SS:PECVD 0.46 sec.

Low-Temperature Deposition of Silicon-Nitride Layers by Using PECVD for High Efficiency Si Solar Cells
B. Karunagaran., | 한국물리학회 | 2006 ,

Characteristics of SiOxNy Films Deposited by PECVD at Low-Temperature Using BTBAS-NH₃-O₂
Lee, June Hee, | 한국물리학회 | 2006 ,

Tribological Properties of Annealed Diamond-like Carbon Film Synthesized by RF PECVD Method
Won Seok Choi, | 한국전기전자재료학회 | 2006 ,

PECVD법에 의해 제조된 SnO₂박막의 공정변수에 따른 미세구조 및 특성
이정훈, | 한국전기전자재료학회 | 2006 ,

PECVD로 증착된 금속층을 포함하는 DLC박막의 기계적 특성 분석
전영숙, | 한국전기전자재료학회 | 2006 ,

PECVD를 이용한 금속 스탬프용 점착방지막 형성과 특성 평가
차남구, | 한국재료학회 | 2006 ,