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PECVD법에 의해 제조된 SnO₂박막의 공정변수에 따른 미세구조 및 특성
PECVD법에 의해 제조된 SnO₂박막의 공정변수에 따른 미세구조 및 특성
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- PECVD법에 의해 제조된 SnO₂박막의 공정변수에 따른 미세구조 및 특성 / 이정훈, 장건익, 손상희 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2006.
- 형태사항
- pp. 680-686
- 기타저자
- 이정훈
- 기타저자
- 장건익
- 기타저자
- 손상희
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60078294
MARC
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