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황정희 ( Hwang Jeong Hui ), | 한국정보처리학회 | 2004 ,
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NH3 분위기에서 Ti 질화에 의한 TiN 형성
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결정성 질화탄소막의 습도 감지특성에 관한 연구
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이지공 ( Lee Ji Gong ), | 한국전기전자재료학회 | 2004 ,
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