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결정성 질화탄소막의 습도 감지특성에 관한 연구
결정성 질화탄소막의 습도 감지특성에 관한 연구
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 결정성 질화탄소막의 습도 감지특성에 관한 연구 / 이지공 ( Lee Ji Gong ) , 하세근 ( Ha Se Geun ) , 김정훈 ( Kim Jeong Hun ) , 이성필 ( Lee Seong Pil ) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 521-525
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233782
MARC
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