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NH3 분위기에서 Ti 질화에 의한 TiN 형성
NH3 분위기에서 Ti 질화에 의한 TiN 형성
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- NH3 분위기에서 Ti 질화에 의한 TiN 형성 / 이근우 ( Lee Geun U ) , 박수진 ( Park Su Jin ) , 유정주 ( Yu Jeong Ju ) , 권영호 ( Kwon Yeong Ho ) , 김주연 ( Kim Ju Yeon ) , 전형탁 ( Jeon Hyeong Tag ) , 배규식 ( Bae Gyu Sig ) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 150-155
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233840
MARC
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