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디스플레이 광소자 / 란탄계 금속 착화합물을 이용한 다양한 유기 전기 발광 소자의 연구
디스플레이 광소자 / 란탄계 금속 착화합물을 이용한 다양한 유기 전기 발광 소자의 연구
표상우(Sang Woo Pyo), | 한국전기전자재료학회 | 2000 ,
82
센서 기능성박막 / MOD 법으로 제조한 강유전성 SBT 박막에서 하부전극이 유전 및 전기적 특성에 미치는 영향
센서 기능성박막 / MOD 법으로 제조한 강유전성 SBT 박막에서 하부전극이 유전 및 전기적 특성에 미치는 영향
김태훈(Tae Hoon Kim), | 한국전기전자재료학회 | 2000 ,
83
반도체 : CF4 / Ar 플라즈마 내 Cl2 첨가에 의한 SrBi2Ta2O9 박막의 식각 특성
반도체 : CF4 / Ar 플라즈마 내 Cl2 첨가에 의한 SrBi2Ta2O9 박막의 식각 특성
김창일(Chang Il Kim), | 한국전기전자재료학회 | 2001 ,
84
반도체 : CF4 / Ar 가스 플라즈마를 이용한 YMnO3 박막의 식각 반응연구
반도체 : CF4 / Ar 가스 플라즈마를 이용한 YMnO3 박막의 식각 반응연구
김동표(Dong Pyo Kim), | 한국전기전자재료학회 | 2001 ,
85
반도체 ; Ar/CF4 유도결합 플라즈마를 이용한 BET 박막의 식각 메카니즘
반도체 ; Ar/CF4 유도결합 플라즈마를 이용한 BET 박막의 식각 메카니즘
임규태 ( Kyu Tae Lim ), | 한국전기전자재료학회 | 2003 ,
86
반도체 ; 유도결합 플라즈마를 이용한 PST 박막의 식각 특성
반도체 ; 유도결합 플라즈마를 이용한 PST 박막의 식각 특성
김관하 ( Gwan Ha Kim ), | 한국전기전자재료학회 | 2003 ,
87
반도체 ; FRAM 응용을 위한 건조온도에 따른 BLT 박막의 강유전 특성
반도체 ; FRAM 응용을 위한 건조온도에 따른 BLT 박막의 강유전 특성
김경태 ( Kyoung Tae Kim ), | 한국전기전자재료학회 | 2003 ,
88
CF4/Gas Chemistry에 의해 식각된 Ru 박막의 표면 반응
CF4/Gas Chemistry에 의해 식각된 Ru 박막의 표면 반응
임규태 ( Kyu Tae Lim ), | 한국전기전자재료학회 | 2002 ,
89
Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성
Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성
장윤성 ( Yun Seong Chang ), | 한국전기전자재료학회 | 2002 ,
90
반도체 : 금속 CMP 공정시 경질 다공성 패드의 적용
반도체 : 금속 CMP 공정시 경질 다공성 패드의 적용
김상용 ( Sang Yong Kim ), | 한국전기전자재료학회 | 2003 ,
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