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1 Results:UU:제18권제4호2005년4월 PP:한국전기전자재료학회 AA:나은영 0.78 sec.
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혼합 산화제를 사용한 텅스텐 막의 전기화학적 부식 및 CMP 특성
혼합 산화제를 사용한 텅스텐 막의 전기화학적 부식 및 CMP 특성
나은영, | 한국전기전자재료학회 | 2005 ,
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