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혼합 산화제를 사용한 텅스텐 막의 전기화학적 부식 및 CMP 특성
혼합 산화제를 사용한 텅스텐 막의 전기화학적 부식 및 CMP 특성
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 나은영
- 서명/저자
- 혼합 산화제를 사용한 텅스텐 막의 전기화학적 부식 및 CMP 특성 / 나은영 , 서용진 , 이우선 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2005.
- 형태사항
- pp. 303-308
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 기타저자
- 서용진 , 이우선
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233553
MARC
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■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제18권 제4호 (2005년 4월)▼d2005, 04
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