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1 Results:UU:제15권제4호2002년4월 AA:박재화(JAE HWA PARK) 0.93 sec.
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강유전체 YMnO3 박막 식각에 대한 CF4 첨가효과
강유전체 YMnO3 박막 식각에 대한 CF4 첨가효과
박재화(Jae Hwa Park), | 한국전기전자재료학회 | 2002 ,
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