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Si로부터 SiC의 레이저 화학증착에 관한 연구

Si로부터 SiC의 레이저 화학증착에 관한 연구

이영림, | 대한기계학회 | 2002 ,

Status Info

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등록번호	별치/청구기호	소장처	대출여부	대출정보
AR06170	P -	참고자료실(관광학관2층)	대출불가

1

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Format

기사 (1)

Author

이영림 (1+)

Publisher

대한기계학회 (1+)

Year

2002 (1)

Language

kor (1)