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Si로부터 SiC의 레이저 화학증착에 관한 연구
Si로부터 SiC의 레이저 화학증착에 관한 연구 / 이영림 저
Si로부터 SiC의 레이저 화학증착에 관한 연구

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
12264881
서명/저자  
Si로부터 SiC의 레이저 화학증착에 관한 연구 / 이영림 저
발행사항  
서울 : 대한기계학회, 2002.
형태사항  
pp. 1226-1233
키워드  
SI로부터 SIC의 레이저 화학
기타저자  
이영림
기본자료저록  
대한기계학회논문집B : 제26권 제9호 (통권 제204호)(2002년 9월) 2002, 09
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60017946

MARC

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