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ICP(Inductively Coupled Plasma)처리에 따른 n-type SiGe/Metal contact의 SBH(Schottky Barrier Height) 연구

ICP(Inductively Coupled Plasma)처리에 따른 n-type SiGe/Metal contact의 SBH(Schottky Barrier Height) 연구

김이곤, 장호원, 전창민, 송영주, 강진영, | 대한금속.재료학회 | 2005 ,

소장정보

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등록번호	별치/청구기호	소장처	대출여부	대출정보
AR19029	P -	참고자료실(관광학관2층)	대출불가

1

소트

구분

자료유형

기사 (1)

저자

김이곤, 장호원, 전창민, 송영주, 강진영 (1+)

출판사

대한금속.재료학회 (1+)

출판년도

2005 (1)

언어

kor (1)