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ICP(Inductively Coupled Plasma)처리에 따른 n-type SiGe/Metal contact의 SBH(Schottky Barrier Height) 연구
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ICP(Inductively Coupled Plasma)처리에 따른 n-type SiGe/Metal contact의 SBH(Schottky Barrier Height) 연구

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
02533847
서명/저자  
ICP(Inductively Coupled Plasma)처리에 따른 n-type SiGe/Metal contact의 SBH(Schottky Barrier Height) 연구 / 김이곤, 장호원, 전창민, 송영주, 강진영 공저
발행사항  
서울 : 대한금속.재료학회, 2005.
형태사항  
pp. 132
키워드  
ICPINDUCTIVELY COUPLED PLASMA처리에 NTYPE SIGEMETAL CONTACT의 SBHSCHOTTKY BARRIER HEIGHT
기타저자  
김이곤, 장호원, 전창민, 송영주, 강진영
기본자료저록  
대한금속.재료학회지 : Vol.43 No.2 (2005년 2월) 2005, 02
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60050233

MARC

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