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차세대 초고집적 DRAM 및 FeRAM용 고유전율박막 캐퍼시터의 하부전극 및 Node 구조개발
차세대 초고집적 DRAM 및 FeRAM용 고유전율박막 캐퍼시터의 하부전극 및 Node 구조개발
구준모 김지영, | 대한금속.재료학회 | 2001 ,
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