자료유형  

 기사

ISSN  

12251550

서명/저자  

차세대 초고집적 DRAM 및 FeRAM용 고유전율박막 캐퍼시터의 하부전극 및 Node 구조개발 / 구준모 김지영 공저

발행사항  

서울 : 대한금속.재료학회, 2001.

형태사항  

pp. 26-32

키워드  

초고 집적 DRAM FERAM용 고유 하부 전극 NODE 구조개

기타저자  

구준모 김지영

기본자료저록  

재료마당 : Vol.14 No.6 2001 2001, 10

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Control Number  

kjul:60016984