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1 Results:SS:전극 PP:한국전기전자재료학회 AA:서현상 0.31 sec.
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ZrO₂와 SiO₂절연막에 따른 Ru-Zr 금속 게이트 전극의 특성 비교
ZrO₂와 SiO₂절연막에 따른 Ru-Zr 금속 게이트 전극의 특성 비교
서현상, | 한국전기전자재료학회 | 2006 ,
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