자료유형  

 기사

ISSN  

12267945

저자명  

서현상

서명/저자  

ZrO₂와 SiO₂절연막에 따른 Ru-Zr 금속 게이트 전극의 특성 비교 / 서현상 , 이정민 , 손기민 , 홍신남 , 이인규 , 송요승 공저

발행사항  

서울 : 한국전기전자재료학회, 2006.

형태사항  

pp. 808-812

키워드  

ZRO₂와 SIO₂절연막에 RUZR 금속 게이트 전극

기타저자  

이정민

기타저자  

손기민

기타저자  

홍신남

기타저자  

이인규

기타저자  

송요승

기본자료저록  

전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제19권 제9호 (2006년 9월) 2006, 09

URL  

http://www.kieeme.or.kr

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Control Number  

kjul:60085638