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1 Results:SS:의존성 PP:대한금속.재료학회 AA:정성훈,이세호,정증현 0.78 sec.
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정전기력 구동 마이크로 액츄에이터를 이용한 Si 소재 탄성특성의 온도의존성 평가
정전기력 구동 마이크로 액츄에이터를 이용한 Si 소재 탄성특성의 온도의존성 평가
정성훈,이세호,정증현, | 대한금속.재료학회 | 2002 ,
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