자료유형  

 기사

ISSN  

02533847

서명/저자  

정전기력 구동 마이크로 액츄에이터를 이용한 Si 소재 탄성특성의 온도의존성 평가 / 정성훈,이세호,정증현 공저

발행사항  

서울 : 대한금속.재료학회, 2002.

형태사항  

pp. 897-902

키워드  

정전기 구동 마이크로 이용 탄성 온도 의존성 평가

기타저자  

정성훈,이세호,정증현

기본자료저록  

대한금속.재료학회지 : Vol.40 No.8 2002 2002, 08

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Control Number  

kjul:60016531