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열처리 효과가 질소이온주입후에 성장시킨 산화막의 QBD 특성에 미치는 영향
열처리 효과가 질소이온주입후에 성장시킨 산화막의 QBD 특성에 미치는 영향
남인호, 홍성인, 심재성, | 대한전자공학회 | 2000 ,
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