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DC 마그네트론 스퍼터링으로 제조된 MOS₂박막의 밀착력 및 내마모 특성
DC 마그네트론 스퍼터링으로 제조된 MOS₂박막의 밀착력 및 내마모 특성
안영환, 김선규, | 대한금속.재료학회 | 2002 ,
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