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DC 마그네트론 스퍼터링으로 제조된 MOS₂박막의 밀착력 및 내마모 특성
DC 마그네트론 스퍼터링으로 제조된 MOS₂박막의 밀착력 및 내마모 특성 / 안영환, 김선규 공저
DC 마그네트론 스퍼터링으로 제조된 MOS₂박막의 밀착력 및 내마모 특성

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
02533847
서명/저자  
DC 마그네트론 스퍼터링으로 제조된 MOS₂박막의 밀착력 및 내마모 특성 / 안영환, 김선규 공저
발행사항  
서울 : 대한금속.재료학회, 2002.
형태사항  
pp. 197-205
키워드  
DC 스퍼터링 으로 제조 MOS₂박막의 밀착 내마모
기타저자  
안영환, 김선규
기본자료저록  
대한금속.재료학회지 : Vol.40 No.2 2002 2002, 02
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60016383

MARC

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