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플라즈마 도움 원자층 제어 증착법을 이용한 Al₂O₃의 성장과 박막 특성의 연구
플라즈마 도움 원자층 제어 증착법을 이용한 Al₂O₃의 성장과 박막 특성의 연구
이장식, 정창욱, 주성기, | 대한금속.재료학회 | 2000 ,
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