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플라즈마 도움 원자층 제어 증착법을 이용한 Al₂O₃의 성장과 박막 특성의 연구
플라즈마 도움 원자층 제어 증착법을 이용한 Al₂O₃의 성장과 박막 특성의 연구 / 이장식, 정창...
플라즈마 도움 원자층 제어 증착법을 이용한 Al₂O₃의 성장과 박막 특성의 연구

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
02533847
서명/저자  
플라즈마 도움 원자층 제어 증착법을 이용한 Al₂O₃의 성장과 박막 특성의 연구 / 이장식, 정창욱, 주성기 공저
발행사항  
서울 : 대한금속.재료학회, 2000.
형태사항  
pp. 1395-1399
키워드  
도움 원자 이용 AL₂O₃의 성장 박막 특성
기타저자  
이장식, 정창욱, 주성기
기본자료저록  
대한금속.재료학회지 : Vol.38 No.10 2000 2000, 10
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60014665

MARC

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