자료유형  

 기사

ISSN  

02533847

서명/저자  

플라즈마 도움 원자층 제어 증착법을 이용한 Al₂O₃의 성장과 박막 특성의 연구 / 이장식, 정창욱, 주성기 공저

발행사항  

서울 : 대한금속.재료학회, 2000.

형태사항  

pp. 1395-1399

키워드  

도움 원자 이용 AL₂O₃의 성장 박막 특성

기타저자  

이장식, 정창욱, 주성기

기본자료저록  

대한금속.재료학회지 : Vol.38 No.10 2000 2000, 10

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Control Number  

kjul:60014665