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실리콘 직접 접합 기판을 이용한 3차원 감지 폴리 실리콘형 가속도 센서
실리콘 직접 접합 기판을 이용한 3차원 감지 폴리 실리콘형 가속도 센서
권기진, 569.4-권19시-TD | 경북대학교 대학원 | 1997 569.4-권19시-TD,
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