자료유형  

 학위논문

청구기호  

569.4 권19시

저자명  

권기진

서명/저자  

실리콘 직접 접합 기판을 이용한 3차원 감지 폴리 실리콘형 가속도 센서 / 권기진 저.

발행사항  

대구 : 경북대학교 대학원, 1997.

형태사항  

166 p. : 삽도 ; 26 cm.

학위논문주기  

학위논문(박사) - 경북대학교 대학원 : 전기공학과, 1997.

서지주기  

권말 참고문헌, 영문초록,부록 수록

키워드  

실리콘 접합 기판 이용 3차원 감지 가속도 센서

가격  

비매품

Control Number  

kjul:60054957