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1

Plasma Characterization of Facing Target Sputter System for Carbon Nitride Film Deposition

Plasma Characterization of Facing Target Sputter System for Carbon Nitride Film Deposition

Ji Gong Lee, | 한국전기전자재료학회 | 2005 ,

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등록번호	별치/청구기호	소장처	대출여부	대출정보
AR116790	P -	참고자료실(관광학관2층)	대출불가

2

센서,기능성박막 : 기판과 성장조건에 따른 질화탄소막의 결정성장 특성

센서,기능성박막 : 기판과 성장조건에 따른 질화탄소막의 결정성장 특성

이지공 ( Lee Ji Gong ), | 한국전기전자재료학회 | 2003 ,

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등록번호	별치/청구기호	소장처	대출여부	대출정보
AR118443	P -	참고자료실(관광학관2층)	대출불가

3

결정성 질화탄소막의 습도 감지특성에 관한 연구

결정성 질화탄소막의 습도 감지특성에 관한 연구

이지공 ( Lee Ji Gong ), | 한국전기전자재료학회 | 2004 ,

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등록번호	별치/청구기호	소장처	대출여부	대출정보
AR117804	P -	참고자료실(관광학관2층)	대출불가

1

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Формат

기사 (3)

Автор

이지공 ( Lee Ji Gong ) (2+)

Издатель

한국전기전자재료학회 (3+)

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