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원료물질에 따른 실리콘 질화막의 원자충 증착 특성 비교
원료물질에 따른 실리콘 질화막의 원자충 증착 특성 비교
이원준, | 한국재료학회 | 2004 ,
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SiH2Cl2와O3을 이용한 원자층 증착법에 의해 제조된 실리콘 산화막의 특성
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이원준, | 한국재료학회 | 2004 ,
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