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4 Results:AA:임재원 MINORU ISSHIKI 0.93 sec.
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질소 첨가에 의한 a-Ta의 안전화 및 확산 방지막으로서의 열적 안정성
질소 첨가에 의한 a-Ta의 안전화 및 확산 방지막으로서의 열적 안정성
배준우, | 대한금속.재료학회 | 2005 ,
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음의 기판 바이어스에 의한 탄탈 박막내의 주요불순물의 농도감소
음의 기판 바이어스에 의한 탄탈 박막내의 주요불순물의 농도감소
임재원, Minoru Isshiki, | 대한금속.재료학회 | 2005 ,
3
기판 바이어스에 의한 구리 seed layer의 특성 향상
기판 바이어스에 의한 구리 seed layer의 특성 향상
임재원, Minoru Isshiki, | 대한금속.재료학회 | 2004 ,
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기판 바이어스에 의해 증착된 Ta 확산 방지막의 열적 안정성 : 제조 공정
기판 바이어스에 의해 증착된 Ta 확산 방지막의 열적 안정성 : 제조 공정
임재원,배준우,Minoru Isshiki, | 대한금속.재료학회 | 2003 ,
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