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질소 첨가에 의한 a-Ta의 안전화 및 확산 방지막으로서의 열적 안정성
질소 첨가에 의한 a-Ta의 안전화 및 확산 방지막으로서의 열적 안정성
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 17388228
- 저자명
- 배준우
- 서명/저자
- 질소 첨가에 의한 a-Ta의 안전화 및 확산 방지막으로서의 열적 안정성 / 배준우 , 임재원 Minoru Isshiki 공저
- 발행사항
- 서울 : 대한금속.재료학회, 2005.
- 형태사항
- pp. 505
- 주기사항
- 참고문헌수록
- 기타저자
- 임재원 Minoru Isshiki
- 기본자료저록
- 대한금속재료학회지=Journal of the Korean Institute of Metals and Mate : Vol.43 No.7 (2005년 7월) 2005, 07
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60201573
MARC
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