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AL₂O₃절연막을 게이트 절연막으로 이용한 공핍형 n-채널 GaAs MOSFET의 제조
AL₂O₃절연막을 게이트 절연막으로 이용한 공핍형 n-채널 GaAs MOSFET의 제조
김본근, 이석현, 이정희, | 대한전자공학회 | 2000 ,
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