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4 Results:AA:이원재(WON JAE LEE) 0.140 sec.
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Ni81Fe19 박막의 제조와 전자기특성
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이원재(Won Jae Lee), | 한국전기전자재료학회 | 2000 ,
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반도체 : CF4 / Ar 플라즈마 내 Cl2 첨가에 의한 SrBi2Ta2O9 박막의 식각 특성
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김창일(Chang Il Kim), | 한국전기전자재료학회 | 2001 ,
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Ar/CHF3 플라즈마를 이용한 SBT 박막에 대한 식각 메카니즘 연구
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서정우(Jung Woo Seo), | 한국전기전자재료학회 | 2000 ,
4
CI2 / CF4 / Ar 유도결합 플라즈마에 의해 식각된 SBT 박막의 표면 손상
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김동표(Dong Pyo Kim), | 한국전기전자재료학회 | 2002 ,
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