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Ti 함량 변화에 따른 X선 노광 마스크용 W-Ti 흡수체의 물성 연구
Ti 함량 변화에 따른 X선 노광 마스크용 W-Ti 흡수체의 물성 연구
김경석, | 한국재료학회 | 2000 ,
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