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Ti 함량 변화에 따른 X선 노광 마스크용 W-Ti 흡수체의 물성 연구
Ti 함량 변화에 따른 X선 노광 마스크용 W-Ti 흡수체의 물성 연구
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 김경석
- 서명/저자
- Ti 함량 변화에 따른 X선 노광 마스크용 W-Ti 흡수체의 물성 연구 / 김경석 , 이규한, 임승택, 이승윤, 안진호 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2000.
- 형태사항
- pp. 218-222
- 주기사항
- 권말 참고문헌 수록
- 기타저자
- 이규한, 임승택, 이승윤, 안진호
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60218991
MARC
008190604s2000 ulk aa kor■022 ▼a12250562
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■7001 ▼a이규한, 임승택, 이승윤, 안진호
■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 10, No. 3, (2000 March)▼d2000, 03
■856 ▼uhttp://www.mrs-k.or.kr
■SIS ▼aS014183▼b60055267▼h8▼s2▼fP
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