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극한 환경 MEMS용 옴익 접촉을 위한 다결정 3C-SiC 박막의 표면 처리 효과
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정귀상, | 한국전기전자재료학회 | 2007 ,
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마그네트론 RIE를 이용한 M/NEMS용 다결정 3C-Sic식각연구
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정귀상, | 한국센서학회 | 2007 ,
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초고온 MEMS용 다결정 3C-SiC의 Ohmic Contact 특성
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정귀상, | 한국센서학회 | 2006 ,
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