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극한 환경 MEMS용 옴익 접촉을 위한 다결정 3C-SiC 박막의 표면 처리 효과
극한 환경 MEMS용 옴익 접촉을 위한 다결정 3C-SiC 박막의 표면 처리 효과
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 정귀상
- 서명/저자
- 극한 환경 MEMS용 옴익 접촉을 위한 다결정 3C-SiC 박막의 표면 처리 효과 / 정귀상 , 온창민 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2007.
- 형태사항
- pp. 234-239
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 기타저자
- 온창민
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233526
MARC
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