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반도체 : 0.12μm 설계 규칙을 갖는 DRAM 셀 주요 레이어의 OPC 및 PSM
반도체 : 0.12μm 설계 규칙을 갖는 DRAM 셀 주요 레이어의 OPC 및 PSM
박기천(Ki Chon Park), | 한국전기전자재료학회 | 2001 ,
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